產(chǎn)品中心
美國(guó)TEM氣體過(guò)濾器TEM-250-24用半導(dǎo)體制造
美國(guó)TEM氣體過(guò)濾器TEM-250-24用半導(dǎo)體制造TEM-250-24過(guò)濾器應(yīng)用?一般和工藝惰性設(shè)施氣體。?關(guān)鍵工藝的清潔干燥空氣(CDA*),包括前開(kāi)口統(tǒng)一吊艙(FOUP)清潔和光刻。
美國(guó)TEM氣體過(guò)濾器TEM-250-24用半導(dǎo)體制造
TEM-228-16 1.0“內(nèi)螺紋NPT入口/出口640.1 mm(25.2")
TEM-250-24 1.5“短管入口/出口637.5 mm(25.1")
TEM-250-32 2.0“短管入口/出口637.5 mm(25.1")
TEM-260-DN50法蘭(詳見(jiàn)圖紙)643.1 mm(25.32")
TEM-250-24過(guò)濾器應(yīng)用
•一般和工藝惰性設(shè)施氣體。
•關(guān)鍵工藝的清潔干燥空氣(CDA*),包括前開(kāi)口統(tǒng)一吊艙(FOUP)清潔和光刻。
TEM-250-24過(guò)濾器功能和優(yōu)點(diǎn)
•電拋光外殼
過(guò)濾器組件具有15Ra電拋光316L不銹鋼外殼,防止腐蝕和粒子在內(nèi)表面上積聚。
•包裝外清潔度
我們的GasPro™ 清潔TEM-200過(guò)濾器,并包裝在無(wú)塵室內(nèi),不含有機(jī)物包裝外、無(wú)顆粒和無(wú)化學(xué)品清潔度。最終組裝已清除使用過(guò)濾氮?dú)膺M(jìn)行初始清潔。附加的預(yù)處理是可選的。
•多種配件選項(xiàng),便于安裝標(biāo)準(zhǔn)配件選項(xiàng)包括端面/墊片密封,壓縮、對(duì)焊和NPT。特殊配件,包括三夾鉗(三葉草)衛(wèi)生和法蘭類型,可根據(jù)要求提供。
•氦泄漏測(cè)試
所有裝置均以1x10-9 atm cc/s的速度進(jìn)行測(cè)試。
。該放就放了吧,該棄就棄了吧,該舍就舍了吧,該忘就忘了吧!當(dāng)我們無(wú)法改變事實(shí)時(shí),我們可以改變自己的想法,改變面對(duì)生活的態(tài)度,從而改變結(jié)局。當(dāng)我們能接受已經(jīng)發(fā)生的,改變能改變的,煩惱自然就會(huì)越來(lái)越少。"
HYLIK海歷克張濤張經(jīng)理今天給大家講講關(guān)于TEM過(guò)濾器TEM-250-32技術(shù)參數(shù)以及產(chǎn)品規(guī)格,目前沒(méi)有現(xiàn)貨額,訂貨周期10-12周左右,現(xiàn)在隨著美元匯率增長(zhǎng)價(jià)格會(huì)有所增長(zhǎng)額,常用于半導(dǎo)體制造,太陽(yáng)能制造行業(yè),微電子行業(yè)廣泛使用中。美國(guó)TEM氣體過(guò)濾器TEM-250-24用半導(dǎo)體制造
GasPro™ TEM-200系列濾波器設(shè)計(jì)用于3 nm顆粒截留率高達(dá)200 scfm,且溫度高達(dá)80?C(176F)。ePTFE膜(1.36 m2/14.6平方英尺)使用聚丙烯支撐結(jié)構(gòu)封閉在316L不銹鋼外殼,具有出色的流動(dòng)性和耐化學(xué)性。使用標(biāo)準(zhǔn)Vitono形圈(其他o形圈材料可在重新測(cè)試時(shí)獲得)。
美國(guó)TEM-311-24過(guò)濾器參數(shù):
我們的多孔ePTFE過(guò)濾器提供有效的顆粒滯留3 nm。
最高工作溫度* 80°C(176°F)。 建議更換:在69C(156F)以上工作6個(gè)月。
最大工作壓力17.2 bar (250 psig) @ 20°C(68°F)。
最大正向差壓20C(68F): 6.0 bar (87 psi) 80?C(176F): 4.0 bar (58 psi)
一般和工藝惰性設(shè)施氣體,用于半導(dǎo)體,脂肪板顯示和其他高純度應(yīng)用。 G酶用于關(guān)鍵的脂肪板工藝,包括襯底退火。 對(duì)于關(guān)鍵工藝,包括前開(kāi)口統(tǒng)一吊艙(FOUP)清洗和光刻,采用稀薄干燥的空氣。
TEM-200零件號(hào)和訂購(gòu)信息
零件號(hào)入口/出口配件過(guò)濾介質(zhì)/外殼其他材料長(zhǎng)度(L)
TEM-215-16 1.0“陽(yáng)墊圈密封入口/出口
PTFE/316L不銹鋼聚丙烯
氟橡膠®密封*658.4毫米(25.92英寸)